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J-GLOBAL ID：200903036868153091
ブラインド装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
菅 隆彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993155161
Publication number (International publication number)：1995226352
Application date： Jun. 25, 1993
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】露光面積を縮小することなく、マスクアライメントマークの転写が発生せず、かつ露光作業中にもアライメント作業可能なブラインド装置を提供する。【構成】露光光Lは遮光し、マスク11とウェハ7を位置合わせするために用いるアライメント光L’は透過する選択的透過性材質より構成され、ウェハ7表面に形成されたウェハアライメントマークW1〜W3に対する露光光の完全遮光に十分かつ可及的に小さな面積を有する任意形状の遮光凸部9a〜9cを形成し前記ウェハ7のチップ領域Dを囲撓する複数のブラインド8a〜8dと、当該複数のブラインド8a〜8dそれぞれを平面内位置決め移動自在に駆動する水平動位置決め設定機構系10a〜10dとを具備してなる。
Claim (excerpt)：
露光光は遮光し、マスクとウェハを位置合わせするために用いるアライメント光は透過する選択的透過性材質より構成され、ウェハ表面に形成されたウェハアライメントマークに対する露光光の完全遮光に十分かつ可及的に小さな面積を有する任意形状の遮光凸部を形成し前記ウェハのチップ領域を囲撓する複数のブラインドと、当該複数のブラインドそれぞれを平面内位置決め移動自在に駆動する水平動位置決め設定機構系とを具備したことを特徴とするブラインド装置。
IPC (2)：
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