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J-GLOBAL ID：200903036884654122

半導体製造装置およびデバイス製造方法

Inventor： 小林 重夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994317754
Publication number (International publication number)：1996153674
Application date： Nov. 29, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ユニットの駆動操作や、各種コマンドの入力をより効率的かつ簡便に行えるようにし、もってオペレーションの簡便化、効率化を図る。【構成】 複数のユニットと、これらの動作を制御する制御手段と、およびこの制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた半導体製造装置において、制御手段に対して少なくとも1つのユニットの駆動および駆動方向を指示するためのボタン602,613を表示した操作ウインドウ601をコンソール部により表示し、必要に応じてこのボタンを押下することにより、このボタンの押下開始と終了までの期間中、制御手段に対して対応するユニットの駆動および駆動方向の指令を付与し、これに応じて前記期間中、その駆動方向へ所定の駆動速度で対応するユニットを駆動させる。また、前記操作ウインドウが表示されたのと同一画面上に、他のユニットの操作ウインドウを開くためのボタン609,610や各ユニットに関する情報を表示する。

Claim (excerpt)：

複数のユニットと、これらの動作を制御する制御手段と、およびこの制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた半導体製造装置において、コンソール部は、前記制御手段に対して少なくとも1つのユニットの駆動および駆動方向を指示するためのボタンを表示した操作ウインドウを表示するとともに、このボタンの押下開始と終了までの期間中、前記制御手段に対して対応するユニットの駆動および駆動方向の指令を付与するものであり、前記制御手段はこれに応じて前記期間中、その駆動方向へ所定の駆動速度で対応するユニットを駆動させるものであることを特徴とする半導体製造装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G06F 3/14 370 ,  H01L 21/02