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J-GLOBAL ID：200903036893123946
検査装置における光源の照度制御装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
坂本 光雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992309816
Publication number (International publication number)：1994138040
Application date： Oct. 26, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：
【要約】【目的】 光源の照度を常に一定にして検査精度を向上させる。【構成】 定電圧電源6から供給される電圧を調節器7を経て光源2に供給する。光源2の照度を照度計8で計測する。照度計8からの現在の照度の値aと照度の設定値bとを演算器9で比較する。比較の結果、差があると、その差に相当する光源への電圧差を求めて演算器9から調節器7に電圧調整量信号eを与える。調節器7にて電圧を調整して光源2の照度が設定値bとなるようにする。電圧の変化に左右されない光源2が得られる。
Claim (excerpt)：
光源とカメラを用いる検査装置における該光源に、定電圧電源からの電圧を調節器を介して供給するようにすると共に、光源の照度を計測する照度計からの照度の現在値と照度の設定値とを比較すると共に現在の光源への電圧を入力して上記照度に差があるとその差に相当する電圧の差を求め該電圧差に相当する電圧調整量信号を設定するようにしてある演算器を設置し、該演算器で設定した電圧調整量信号を上記調節器に与えるようにしたことを特徴とする検査装置における光源の照度制御装置。
IPC (5)：
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G05D 25/02
, G06F 15/62
, G06F 15/64 325
Cited by examiner (7)
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