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J-GLOBAL ID：200903036897385538

光走査型顕微鏡

Inventor： 首藤 広
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993066551
Publication number (International publication number)：1994273676
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】 近視野現象を観察することができる高分解能の光走査型顕微鏡を提案する。【構成】 試料4を照射するレーザ光を光ファイバ3で導いて反射光又は透過光を受光し、若しくはレーザ光で照射された試料4の反射光又は透過光を光ファイバ3で受光し、この反射光又は透過光の光強度を検出しながら試料4に対する光ファイバ3の相対位置を走査させる。

Claim (excerpt)：

レーザ光を生成するレーザ光源と、上記レーザ光を導いて該レーザ光を試料に照射し、若しくは上記試料に上記レーザ光を照射して得られる反射光又は透過光を受光する光ファイバと、上記光ファイバを介して照射した上記レーザ光の反射光又は透過光を受光し、若しくは上記光ファイバで受光した上記反射光又は透過光を受光し、上記反射光又は上記透過光の光強度に応じて信号レベルが変化する受光結果を出力する反射光検出手段と、上記光ファイバ及び上記試料の相対位置を順次変化させ、上記試料に対する上記光ファイバの相対位置を走査させる光走査手段とを備えてなることを特徴とする光走査型顕微鏡。