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J-GLOBAL ID：200903036904092223

真空蒸着方法

Inventor： 町田 敏則 ,  尾崎 邦彦
Applicant, Patent owner： 東洋インキ製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994135519
Publication number (International publication number)：1996003727
Application date： Jun. 17, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給/排出する真空蒸着方法において、原料組成を反映した組成の蒸着膜を得る真空蒸着方法の提供。【構成】珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給/排出する真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度/アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比を、9.5〜7.5/2.5〜0.5とすることを特徴とする真空蒸着方法。【効果】珪素酸化物依存のバリヤー性,寸法安定性等とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物依存の高透明性を両立する蒸着フィルムが得られるようになった。

Claim (excerpt)：

珪素酸化物類とアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の混合原料を連続的に供給/排出する真空蒸着方法において、珪素酸化物類の蒸着速度/アルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物の蒸着速度の比を、9.5〜7.5/2.5〜0.5とすることを特徴とする真空蒸着方法。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 蒸着フィルムおよびその透明化方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-078551   Applicant：東洋インキ製造株式会社
• 特開平1-252768
  
• 特開平2-277774