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J-GLOBAL ID：200903036947955144
加速度センサ、加速度センサ装置及び当該加速度センサ装置を実装した車両その他の機器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994215321
Publication number (International publication number)：1995225242
Application date： Aug. 16, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：
【要約】【構成】 シリコンウエハ8を電気化学エッチングすることにより、フレーム2内に弾性を有する2本のビーム3によって片持ち状に支持されたマス部4を形成する。加速度検出軸方向Xは、マス部4の重心Gとその揺動中心Mを含む平面Lと垂直な方向に設定ないし設計されている。加速度センサ10を用いる場合には、この加速度検出軸方向Xを目的とする加速度検出方向に一致させて実装する。【効果】 目的とする加速度検出方向と直交する他軸方向の加速度の検出感度を最小にし、目的とする加速度検出方向の加速度の検出精度を向上させる。
Claim (excerpt)：
弾性変形部によりマス部が支持部材に揺動自在に支持され、マス部の重心が当該重心の揺動中心を通り弾性変形部と平行な面内に位置しない加速度センサであって、加速度検出軸方向と直交する方向の加速度に起因する出力が最小となるよう、加速度検出軸方向を設定されている加速度センサ。
IPC (4)：
G01P 15/12
, G01P 15/02
, G01P 21/00
, B60R 21/32
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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