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J-GLOBAL ID：200903036948518317

試料の分離装置及びその方法並びに基板の製造方法

Inventor： 近江 和明 ,  坂口 清文 ,  柳田 一隆 ,  米原 隆夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997159038
Publication number (International publication number)：1999005064
Application date： Jun. 16, 1997
Publication date： Jan. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】多孔質層を有する基板を多孔質層で分離する装置を提供する。【解決手段】多孔質層420bを有する貼り合わせ基板420を基板保持部404及び406により回転させながら支持する。噴射ノズル418から高速、高圧の液体又は水(ジェット構成媒体)を噴射し、そのジェットを案内部415を介して貼り合わせ基板420に狭入させる。この案内部415は、ジェットが貼り合わせ基板420の貼り合わせ面付近に集中するように、モータ417によりx軸方向の位置を調整される。

Claim (excerpt)：

内部に脆弱構造部を有する試料を分離する分離装置であって、液体又は気体を束状にして噴射する噴射部と、前記噴射部より噴射された液体又は気体の束を試料の脆弱構造部付近に集中させる案内部と、を備え、脆弱構造部で試料を分離することを特徴とする分離装置。

IPC (3)：

B07B 13/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 27/12

FI (3)：

B07B 13/00 ,  H01L 21/02 B ,  H01L 27/12 B