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J-GLOBAL ID：200903036989270010

表示装置

Inventor： 山崎 舜平
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997092935
Publication number (International publication number)：1998268360
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 液晶パネルにおけるTFTの発熱の問題に対処する。【解決手段】 TFT105、109、113上に設けられた樹脂層間膜123上にDLC膜125を設ける。DLC膜125は、樹脂膜上の容易に成膜することができ、また熱伝導率が高いので、放熱層として機能させることができる。

Claim (excerpt)：

同一基板上に配置された画素マトリクス部と周辺駆動回路部とを有し、前記画素マトリクス部と周辺駆動回路部とには、薄膜トランジスタが配置されており、前記薄膜トランジスタ上方には樹脂材料でなる層間絶縁膜が配置されており、前記層間絶縁膜上には炭素膜が成膜されていることを特徴とする表示装置。

IPC (2)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786

FI (4)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 619 A ,  H01L 29/78 621