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J-GLOBAL ID:200903037002568833

Y123型結晶膜・多層膜積層体の作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 秋田 収喜
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993108571
Publication number (International publication number):1994321694
Application date: May. 10, 1993
Publication date: Nov. 22, 1994
Summary:
【要約】【目的】 比較的安価な装置で簡便に良質なY123型結晶構造を有する酸化物結晶膜または多層膜積層体を作製する。【構成的】 本発明のY123型結晶膜または多層膜積層体の作製方法は、溶剤としてBaO融液またはCuO融液またはBaOとCuOとの混合融液を用い、溶質供給物質から溶質を溶剤を通して基板にまで輸送させ、Y123型結晶構造を有する酸化物結晶の膜を、液相から初晶で、基板上に成長させる。
Claim (excerpt):
溶剤としてBaO融液またはCuO融液あるいはBaOとCuOの混合融液を用い、溶質供給物質から溶質を溶剤を通して基板にまで輸送させ、Y123型結晶構造を有する酸化物結晶膜を、液相から初晶で、基板上に成長させることを特徴とするY123型結晶膜の作製方法。
IPC (3):
C30B 29/22 501 ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01L 39/02 ZAA
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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