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J-GLOBAL ID：200903037019362066

照明光学装置,該照明光学装置を備えた露光装置,及びマイクロデバイスの製造方法

Inventor： 渋谷 眞人 ,  後藤 明弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 亀谷 美明 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001068431
Publication number (International publication number)：2002057098
Application date： Mar. 12, 2001
Publication date： Feb. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 光源の干渉性を低減しつつ,かつ,装置の小型化が実現可能な照明光学装置,前記照明光学装置を備えた露光装置,前記露光装置を用いたマイクロデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】 光源10から供給されるコヒーレント光は,ハーフミラー21により分割され,一部はオプティカルインテグレータ系40に進む。残りは前記コヒーレント光の可干渉距離よりも短い光路長差を有する周回光路を進み,ハーフミラー21で再び分割され同様のことが繰り返される。偏向素子23は光を所定の方向に偏向させる機能を有する透過型の光学素子である。オプティカルインテグレータ系40に進んだ所定の光路長差と所定の偏向角をもった光は混合され,導光系30を経由しレチクル60を照明する。

Claim (excerpt)：

コヒーレントな光を供給する光源と,前記コヒーレントな光を分割して複数の分割光を生成すると共に前記複数の分割光間に前記コヒーレントな光の可干渉距離よりも短い光路長差を付与する光遅延系と,前記光遅延系からの光を被照射面へ導く導光系とを有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527 ,  G02B 27/00 V

F-Term (9)：

5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23