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J-GLOBAL ID：200903037038268666

チタン系複合酸化物形成用塗布液

Inventor： 橋本 晃
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993238290
Publication number (International publication number)：1995090594
Application date： Sep. 24, 1993
Publication date： Apr. 04, 1995
Summary：

【要約】【構成】 (イ)テトラアルコキシチタンとオキシ酸との反応生成物及び(ロ)チタン以外の金属の可溶性塩を含む有機溶剤性溶液から成るチタン系複合酸化物形成用塗布液である。【効果】 従来の塗布液に比較し、優れた保存安定性を有する上に、1回の塗布により所望の膜厚の複合酸化物膜を基板上に形成しうる。

Claim (excerpt)：

(イ)テトラアルコキシチタン又はその錯体化合物と、オキシ酸との反応生成物、及び(ロ)チタン系複合酸化物の成分となるチタン以外の金属の可溶性塩を含む有機溶剤性溶液から成るチタン系複合酸化物形成用塗布液。

IPC (4)：

C23C 18/12 ,  C01G 23/00 ,  C01G 25/00 ,  H01L 41/24