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J-GLOBAL ID：200903037040984441

感光性樹脂組成物およびパターンの製造法

Inventor： 川崎 大 ,  児嶋 充雅
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994176276
Publication number (International publication number)：1996044060
Application date： Jul. 28, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ワニスの経時変化によらず、膜厚の均一な塗膜を得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (a)一般式(1)【化1】(但し、式中R1は3価または4価の有機基、R2は2価の有機基、Mは水素、アルカリ金属イオンまたはアンモニウムイオンを表わす。nは1または2である)で表わされる繰り返し単位を主成分とするポリマ100重量部、(b)一般式(2)【化2】(但し、式中R3は2価の有機基を表わす)で表わされるビスアジド化合物0.1〜100重量部(c)不飽和結合を有するアミン化合物1〜400重量部および(d)分子内にカルボキシル基を有する化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)【化1】(但し、式中R1は3価または4価の有機基、R2は2価の有機基、Mは水素、アルカリ金属イオンまたはアンモニウムイオンを表わす。nは1または2である)で表わされる繰り返し単位を主成分とするポリマ100重量部、(b)一般式(2)【化2】(但し、式中R3は2価の有機基を表わす)で表わされるビスアジド化合物0.1〜100重量部(c)不飽和結合を有するアミン化合物1〜400重量部および(d)分子内にカルボキシル基を有する化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 A