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J-GLOBAL ID：200903037044951734

感光性樹脂組成物

Inventor： 大熊 典夫 ,  宮川 昌士
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991271561
Publication number (International publication number)：1993107757
Application date： Oct. 19, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ポリ-P-ヒドロキシスチレン系レジストを用い、耐熱性を有し、厚膜にてもクラックが発生せず高い解像性を実現できるポジ型感光性材料を提供すること。【構成】 P-ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル系モノマーの共重合体及びナフトキノンジアジド化合物を含有させてポジ型感光性樹脂組成物を調製する。

Claim (excerpt)：

P-ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル系モノマーの共重合体及びナフトキノンジアジド化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/022 ,  C08K 5/28 LEK ,  C08L 25/18 LEK ,  C08L 33/10 LHX ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027