Pat

J-GLOBAL ID：200903037046635619

圧力センサ

Inventor： 船崎 純
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287771
Publication number (International publication number)：1993126665
Application date： Nov. 01, 1991
Publication date： May. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、電気信号を介することなく、全光学的に圧力変化の信号検出可能にすることを主要な目的とする。【構成】光学媒質の応力変化に伴う屈折率変化を光学的に検出することにより圧力変化を検出し、センサ部(12a)が光導波路構造をなす圧力センサにおいて、前記光導波路は、屈折率の異なる2種類以上の光学媒質を複数積層させた複屈折性を付与した多層薄膜構光導波層(5) であることを特徴とする圧力センサ。

Claim (excerpt)：

光学媒質の応力変化に伴う屈折率変化を光学的に検出することにより圧力変化を検出し、センサ部が光導波路構造をなす圧力センサにおいて、前記光導波路は、屈折率の異なる2種類以上の光学媒質を複数積層させた複屈折性を付与した多層薄膜構造光導波路であることを特徴とする圧力センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-128132
  
• 特開昭62-182627
  
• 特開平2-134613