Pat

J-GLOBAL ID：200903037048911869

光導波路素子

Inventor： 佐藤 荒尾
Applicant, Patent owner： アルプス電気株式会社
Agent (1)： 野▲崎▼ 照夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993045977
Publication number (International publication number)：1994235837
Application date： Feb. 10, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 コア層とクラッド層との境界に存在する微小な凹凸等の影響による導波光の散乱を、低コストでかつ容易な手段により低減する。【構成】 クラッド層となる基板11は表面に凹凸14のあるものであり、その表面に基板11の屈折率と同一の屈折率の平滑化層12をスピンコート法などにより形成する。この平滑化層12の材料には、SiO2を主成分とするゾルゲルガラス材料が用いられ、このゾルゲルガラス材料を焼成する雰囲気中の水分濃度を制御することにより屈折率を調整できるようにしている。この平滑化層12の平滑表面にコア層13が形成されることにより、コア層13と平滑化層12との境界面での凹凸をなくし、この境界面での導波光の散乱を防止でき、伝搬効率を高めることができるようにする。

Claim (excerpt)：

クラッド層に、その表面が平滑な平滑化層が積層されており、この平滑化層の平滑表面に、平滑化層と屈折率の相違するコア層が形成されていることを特徴とする光導波路素子。