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J-GLOBAL ID：200903037080790755

集積型SPMセンサ

Inventor： 松本 一哉 ,  高山 美知雄 ,  神谷 宜孝 ,  長谷川 守
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994244864
Publication number (International publication number)：1996086788
Application date： Sep. 14, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 微弱な入射光を検出可能な高光検出感度を有する光検出素子を備えた集積型SPMセンサを提供する。【構成】 カンチレバー部7を構成し光電変換領域及びチャネル領域となるn型半導体部1の先端表面に、チップ部6を突出形成し、該チップ部6及びその近傍の表面にゲート領域となるp+ 型拡散層5を形成する。そしてp+ 型拡散層5の両側のn型半導体部1の表面にn++型ドレイン(ソース)拡散層3とn++型ソース(ドレイン)拡散層4を形成し、該拡散層3,4にコンタクト部8,9を介して金属配線10,11を接続すると共に、n型半導体部1の裏面にはp++型拡散層2を形成して、ホト接合ゲートFETを光検出素子として備えた集積型SPMセンサを構成する。

Claim (excerpt)：

自由端に探針部を有するカンチレバー部と、該カンチレバー部の基端部を支持する支持部と、前記探針部が検出する信号を伝達する信号線を具備した集積型SPMセンサにおいて、前記探針部が接合ゲート型ホトFETからなる光検出素子で構成されていることを特徴とする集積型SPMセンサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 近接視野顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-299236   Applicant：日本電信電話株式会社