Pat

J-GLOBAL ID：200903037087542790

静圧気体軸受装置

Inventor： 伊藤 高順
Applicant, Patent owner： エヌティエヌ株式会社
Agent (1)： 野田 雅士 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999213353
Publication number (International publication number)：2001041242
Application date： Jul. 28, 1999
Publication date： Feb. 13, 2001
Summary：

【要約】【課題】 嵌合面における圧力溜まりの発生が防止され、軸受スリーブの変形が抑制できて、優れた軸受性能を維持できる静圧気体軸受装置を提供する。【解決手段】 ハウジング1の内径面に嵌合した軸受スリーブ2を備え、軸受スリーブ2の微細な絞り孔21a,22aを有する軸受面JB,TBに、ハウジング1側から気体を供給する。これら軸受面の静圧気体で主軸3を支承する。この構成の静圧気体軸受装置において、ハウジング1と軸受スリーブ2との嵌合面Bに環状溝23を形成し、この環状溝23から大気に通じる排気通路24を形成する。

Claim (excerpt)：

ハウジングの内径面に嵌合した軸受スリーブを備え、この軸受スリーブとハウジングとの嵌合面を貫通する給気通路を設け、軸受スリーブに設けられた複数の微細な絞り孔を有する軸受面に、ハウジング側から気体を供給することにより、静圧気体を介して主軸を支承する静圧気体軸受装置において、上記ハウジングと軸受スリーブとの嵌合面から大気に通じる排気通路を形成したことを特徴とする静圧気体軸受装置。

F-Term (13)：

3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA06 ,  3J102BA17 ,  3J102CA34 ,  3J102CA36 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA07 ,  3J102EA13 ,  3J102EA23 ,  3J102GA01 ,  3J102GA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 静圧気体軸受
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-030854   Applicant：日本精工株式会社
• 特開昭57-129920
  
• 静圧流体軸受
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-328070   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平2-212624