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J-GLOBAL ID：200903037095685117

ダイヤモンド薄膜磁気検出素子及び磁気検出装置

Inventor： 橘 武史 ,  西村 耕造 ,  小橋 宏司
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993084476
Publication number (International publication number)：1994302878
Application date： Apr. 12, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体ダイヤモンド薄膜を使用して耐熱性が優れていると共に、温度上昇に起因して感度が低下することがなく、また大面積・空間の磁場分布の測定を可能とするダイヤモンド薄膜磁気検出素子及び磁気検出装置を提供する。【構成】 ダイヤモンド薄膜磁気検出素子は、ダイヤモンド薄膜2からなる磁気検知部と、この磁気検知部にホール起電力を生起させる少なくとも1対の主電流用電極3と、前記ホール起電力を検出する検出電極4とを有する。そして、主電流用電極3の相互間距離は1乃至100μmである。これにより、主電流用電極により、ダイヤモンド薄膜2からなる磁気検知部に104V/cm以上の電界を印加する。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド薄膜からなる磁気検知部と、この磁気検知部にホール起電力を生起させる少なくとも1対の主電流用電極と、前記ホール起電力を検出する検出電極とを有し、前記主電流用電極の相互間距離は1乃至100μmであることを特徴とするダイヤモンド薄膜磁気検出素子。

IPC (3)：

H01L 43/10 ,  G01R 33/06 ,  H01L 43/06