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J-GLOBAL ID：200903037116270974
スキャナシステム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993203319
Publication number (International publication number)：1994229753
Application date： Aug. 17, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 圧電体の変位に生じるヒステリシスやクリープ等による影響を除去し、良好な走査を行うことが可能なスキャナシステムを提供する。【構成】 プローブを支持し、XY方向に変位可能な自由端に設けられた平面鏡4を有する筒状の圧電スキャナ1と、このスキャナ1に電圧を印加して、プローブを試料に対してXY方向に変位させるスキャナドライブ14と、前記スキャナの自由端の変位に対応した前記平面鏡の変位を、ここに入射する光ビームの反射光を光学的に検出して、これら変位に対応する変位信号を出力するポジションディテクタ9と、スキャナの電圧ー変位非線形特性を補正する電圧を前記スキャナドライブがスキャナに印加するように、前記変位信号にもとずいて、補正信号を演算回路16で計算し、スキャナドライブに供給するスキャナコントローラ11とを具備する。
Claim (excerpt)：
走査部材と試料とを相対的に走査するためのスキャナと、このスキャナの固定端部に対する自由端部の変位を検出するために、この自由端部に設けた測定点の変位を光学的に検出する光学式変位検出手段とを具備する走査型顕微鏡に用いられるスキャナシステム。
IPC (3)：
G01B 21/30
, G01B 11/26
, H01J 37/28
