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J-GLOBAL ID：200903037146483085

スパッタ用プラズマ発生アクティブシールド

Inventor： セルジオ エーデルシュタイン ,  マニ スブラマニ
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997312570
Publication number (International publication number)：1998183342
Application date： Oct. 08, 1997
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造システムにおけるプラズマチャンバ用のコイルとシールドの組合せを提供する。【解決手段】 コイルシールドは、エネルギーを効率的にプラズマに結合するために複数の巻きを持つと共に、第1シールドの背後に配置された第2シールドに堆積材料が到達するのを実質上阻止する。

Claim (excerpt)：

ソースからのエネルギーをプラズマ内に結合するための装置であって、ターゲットと、基板ホルダと、前記ターゲットと前記基板ホルダとの間のプラズマ発生区域と、自身に、隔てられた複数のコイルワインディングを更に画成するように、チャンネルを画成する導電第1シールド壁であって、前記導電第1シールドコイルワインディングは、前記ソースに結合して前記導電第1シールドコイルワインディングからのエネルギーを前記プラズマ発生区域内に放射する、前記導電第1のシールド壁とを備える装置。

IPC (5)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (5)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/00 B ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S