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J-GLOBAL ID：200903037151197570

位置決め装置及び該装置を備えた露光装置

Inventor： 小野 一也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997063165
Publication number (International publication number)：1998256356
Application date： Mar. 17, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 半導体ウエハ等の平板状物体の位置決めを高速且つ高精度に行う。【解決手段】 駆動ベース4の全面にX方向、及びY方向に所定ピッチで駆動ユニット17A,17ARを配置し、各駆動ユニット17A,17ARの中央部に形成された給気孔13A,13ARから圧縮空気を吹き出してミラープレート7及びウエハWを浮上させて保持する。ミラープレート7の位置をレーザ干渉計8X,8YA,8YBで計測し、ミラープレート7に対するウエハWの相対位置を変位計31A〜31Eで計測する。各駆動ユニット17A及び17ARは、ミラープレート7及びウエハWに対してそれぞれY方向への駆動力(ローレンツ力)FY、及びX方向への駆動力(ローレンツ力)FXを発生し、これらの駆動力を組み合わせることでウエハWを位置決めする。

Claim (excerpt)：

電気的導体よりなる平板状物体を所定のベース上で位置決めするための位置決め装置であって、略矩形の電気的導体よりなり、中央部に前記平板状物体が収納される貫通孔を有する平板状保持体と、前記平板状物体及び平板状保持体を前記ベース上に浮上させる浮上装置と、前記平板状物体及び平板状保持体に各々電流を誘起させる電流発生部、及び該電流発生部によって誘起される電流と交差する方向に磁場を発生する磁場発生部を備え、前記電流及び磁場と直交する方向に前記平板状物体及び平板状保持体に対してローレンツ力よりなる駆動力を発生させ、該発生した駆動力によって該平板状物体及び平板状保持体を前記ベースの表面上に沿って移動させる駆動装置と、前記平板状保持体の変位を計測する第1の変位計測装置と、前記平板状保持体に対する前記平板状物体の変位を計測する第2の変位計測装置と、を有し、前記第1及び第2の変位計測装置の計測結果に基づき前記駆動装置を介して前記平板状保持体及び平板状物体を移動させ、該平板状物体を非接触状態で位置決めすることを特徴とする位置め装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (5)：

H01L 21/68 N ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/30 510 ,  H01L 21/30 516 B