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J-GLOBAL ID：200903037163631667
X線ミラー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994296440
Publication number (International publication number)：1996152499
Application date： Nov. 30, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：
【要約】【構成】セラミックス製基体1の表面に平滑膜2と反射膜3を備えてなるX線ミラーにおいて、上記平滑膜2をダイヤモンドで形成するとともに、その膜厚を5〜10μmとし、かつ成膜時の二次結晶の平均粒子径を10μm以下とする。【効果】平滑膜2の熱伝導率が高いため放熱性に優れ、また表面を極めて滑らかな面に研磨できることから高精度のX線ミラーを提供できる。
Claim (excerpt)：
セラミックス製基体の表面に平滑膜と反射膜を備えてなるX線ミラーにおいて、上記平滑膜を、膜厚5〜10μmで、かつ二次結晶の平均粒子径が10μm以下のダイヤモンド膜で形成したことを特徴とするX線ミラー。
IPC (2)：
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