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J-GLOBAL ID：200903037175999589

窒化アルミニウム単結晶の製造方法及び窒化アルミニウム単結晶

Inventor： 小林 義政 ,  山田 直仁
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (7)： 中村 友之 ,  三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄 ,  鈴木 壯兵衞 ,  高久 浩一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006220981
Publication number (International publication number)：2007277074
Application date： Aug. 14, 2006
Publication date： Oct. 25, 2007
Summary：

【課題】結晶性に優れた窒化アルミニウム単結晶を製造する。【解決手段】単結晶製造装置1において、種結晶10は、長さ方向がc軸配向した棒状の窒化アルミニウム単結晶からなり、窒化アルミニウム原料8が結晶成長する側部の露出面は{0001}面に対し90°の傾きを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

露出面が{0001}面に対し90°の傾きを有する結晶成長用基体表面に窒化アルミニウムを結晶成長させることにより窒化アルミニウム単結晶を製造することを特徴とする窒化アルミニウム単結晶の製造方法。

IPC (1)：

C30B 29/38

FI (1)：

C30B29/38 C

F-Term (16)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB04 ,  4G077AB06 ,  4G077AB07 ,  4G077BE13 ,  4G077DA02 ,  4G077DA18 ,  4G077EB01 ,  4G077EC07 ,  4G077ED02 ,  4G077ED06 ,  4G077HA01 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077SA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 窒化物単結晶の製造方法およびその製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-078418   Applicant：学校法人早稲田大学, 株式会社フジクラ