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J-GLOBAL ID：200903037182834510

感光性樹脂組成物

Inventor： 前田 ▲祐▼利 ,  国宗 弘一 ,  渡邊 英司
Applicant, Patent owner： チッソ株式会社
Agent (1)： 藤本 博光 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993134357
Publication number (International publication number)：1994348016
Application date： Jun. 04, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【構成】 一般式(I)【化1】で示される構造単位を含むポリアミド酸100重量部に対し、一般式(II)【化2】で示されるエポキシ基を有するシリコン化合物0.5〜30重量部及び光照射により酸を発生する化合物0.5〜40重量部を含有する感光性樹脂組成物。【効果】 製造が容易で、ポジ型のパターン形成ができ、基板との密着性に優れる感光性樹脂組成物が提供された。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)【化1】で示される構造単位を含むポリアミド酸を100重量部、下記一般式(II)【化2】で示されるエポキシ基を有するシリコン化合物0.5〜30重量部、及び光照射により酸を発生する化合物0.5〜40重量部を含有することからなる感光性樹脂組成物、{ただし、式(I)においてR1は4価の有機基、R2は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基または2価のポリシロキサン基を表す、また式(II)においてZは【化3】【化4】または【化5】であり、R3は【化6】【化7】もしくは【化8】(ただし、sは0〜4の整数、tは1〜4の整数を表す)であり、R4は独立に炭素数1〜6のアルキル基、R5は独立に炭素数1〜6の飽和または不飽和の炭化水素基を表し、1≦k≦3である。}。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  C08K 5/54 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-015847
  
• 特開昭54-145794