感光性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤本博光 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993134357
Publication number (International publication number)：1994348016
Application date： Jun. 04, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【構成】一般式(I)【化1】で示される構造単位を含むポリアミド酸100重量部に対し、一般式(II)【化2】で示されるエポキシ基を有するシリコン化合物0.5〜30重量部及び光照射により酸を発生する化合物0.5〜40重量部を含有する感光性樹脂組成物。【効果】製造が容易で、ポジ型のパターン形成ができ、基板との密着性に優れる感光性樹脂組成物が提供された。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)【化1】で示される構造単位を含むポリアミド酸を100重量部、下記一般式(II)【化2】で示されるエポキシ基を有するシリコン化合物0.5〜30重量部、及び光照射により酸を発生する化合物0.5〜40重量部を含有することからなる感光性樹脂組成物、{ただし、式(I)においてR1は4価の有機基、R2は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基または2価のポリシロキサン基を表す、また式(II)においてZは【化3】【化4】または【化5】であり、R3は【化6】【化7】もしくは【化8】(ただし、sは0〜4の整数、tは1〜4の整数を表す)であり、R4は独立に炭素数1〜6のアルキル基、R5は独立に炭素数1〜6の飽和または不飽和の炭化水素基を表し、1≦k≦3である。}。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/54 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/075 511 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開昭63-015847
特開昭54-145794
特開平4-204945

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Cited by examiner (2)

特開昭63-015847
特開昭54-145794

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