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J-GLOBAL ID：200903037214101854

気流チェッカーおよびクリーンルーム

Inventor： 佐々木 匡子
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993319672
Publication number (International publication number)：1995174777
Application date： Dec. 20, 1993
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、クリーンルーム内の気流の方向および強さを確実に、かつ、簡易に検知できる気流チェッカーを得ることを目的とする。【構成】 気流チェッカー10は、支柱11の軸方向に対して直交する一平面内で同一の長さの4本の風車取付腕12が互いに直交するように支柱11に垂直に取り付けられ、4本の風車取付腕12は、支柱11の軸方向に所定の間隔で、それらの取付位置が順次所定角度づつ回転し、かつ、それらの長さが長くなって、5列に配設され、さらに風車取付腕12のそれぞれの先端部には、風車13が回転自在に取り付けられて、構成されている。そして、この気流チェッカー10をクリーンルーム内に設置すれば、クリーンルーム内の気流の方向および強さに応じて風車13が回転し、気流の澱み等が目視にて把握できる。

Claim (excerpt)：

細長の支柱と、この支柱に放射状に、かつ、その軸方向に段差をもって取り付けられた複数の風車取付腕と、これらの風車取付腕のそれぞれの先端部に回転自在に取り付けられた風車と、前記複数の風車取付腕のそれぞれに取り付けられて前記風車の回転速度を検出する回転速度検出手段と備えたことを特徴とする気流チェッカー。

IPC (3)：

G01P 13/00 ,  F24F 7/06 ,  H01L 21/02