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J-GLOBAL ID:200903037237633063

クリーンユニット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 清水 善▲廣▼ (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000300273
Publication number (International publication number):2002106905
Application date: Sep. 29, 2000
Publication date: Apr. 10, 2002
Summary:
【要約】【課題】 同じ機枠であっても、さまざまな大きさの空気清浄装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも清浄空間内の空気の滞りの少ない簡易なクリーンユニットを提供する。【解決手段】 支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とする。
Claim (excerpt):
支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠に固定自在の桁材を任意の位置に固定して、前記桁材を介して空気清浄装置を設けるようにしたことを特徴とするクリーンユニット。
IPC (9):
F24F 7/06 ,  B01D 46/42 ,  B62B 3/00 ,  B62B 5/00 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  F24F 7/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68
FI (9):
F24F 7/06 C ,  B01D 46/42 Z ,  B62B 5/00 E ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 Z ,  F24F 7/00 A ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/68 A ,  B62B 3/00 D
F-Term (30):
3D050AA11 ,  3D050AA13 ,  3D050BB04 ,  3D050BB10 ,  3D050DD01 ,  3D050EE08 ,  3D050EE15 ,  3D050GG01 ,  3D050KK09 ,  3L058BD00 ,  3L058BE08 ,  3L058BF03 ,  3L058BF06 ,  3L058BF07 ,  3L058BF08 ,  4D058JA12 ,  4D058KC02 ,  4D058LA01 ,  4D058LA02 ,  4D058LA08 ,  4D058QA01 ,  4D058QA13 ,  4D058SA04 ,  4D058UA05 ,  4D058UA08 ,  4D058UA25 ,  5F031CA02 ,  5F031CA20 ,  5F031GA57 ,  5F031NA07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 清浄室装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-299936   Applicant:株式会社日立製作所, 日立テクノエンジニアリング株式会社

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