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J-GLOBAL ID：200903037241635143

液晶表示用基板

Inventor： 松浪 光雄
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992079612
Publication number (International publication number)：1993281573
Application date： Apr. 01, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 バックライト方式の表示が可能な液晶表示用基板を得る。【構成】 石英基板1上にSiO2膜2を介してP型単結晶シリコン基板を接合し、薄膜状に加工してP型単結晶シリコン膜3'を形成する。さらに、ゲート膜となるSiO24およびゲート部となるポリシリコン膜5を形成する。続いてリンのイオン注入を行って活性化アニール処理を行う。そうした後、不要箇所のP型単結晶シリコン膜3'およびSiO2膜2を除去してSiO2膜6を形成して窓開け後、ゲート線となる配線電極を形成する。更に絶縁膜7で被覆して窓開けした後、ソース線となる配線電極8を形成し、各画素のパターンに透明電極9を形成する。こうして、透明な石英基板1上におけるMOSトランジスタを形成しない箇所のP型単結晶シリコン膜3'を除去して画素領域に光透過性を持たせることによって、バックライト方式の表示が可能な液晶表示用基板を得る。

Claim (excerpt)：

透明基板上における能動素子形成箇所に所定の厚みを有する単結晶半導体膜を設け、この単結晶半導体膜上に能動素子を形成したことを特徴とする液晶表示用基板。

IPC (5)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 ,  G02F 1/1335 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784