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J-GLOBAL ID：200903037261132105

表面波装置及び通信機装置

Inventor： 門田 道雄 ,  米田 年麿 ,  藤本 耕治
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999134474
Publication number (International publication number)：2000323956
Application date： May. 14, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 膜厚に対して音速の変化が少なく圧電基板上に電極を形成した段階で減衰定数が0に近い表面波装置を提供する。【解決手段】 オイラー角(0°,121°≦θ≦136°,90°±5°)である水晶基板上に、Au,W,Ta,Ag,Mo,Cu,Ni,Cr,Znのうち少なくともひとつを主成分とし、密度が7g/cm3より大きい電極材料でIDTを構成し、SH波を励振させる。

Claim (excerpt)：

オイラー角(0°,θ,90°±5°)においてθが119°≦θ≦136°である水晶基板と、前記水晶基板上に形成され、Ag,Mo,Cu,Ni,Cr,Znのうち少なくともひとつを主成分とし、密度が7g/cm3以上の電極材料で構成されることによりSH波を励振するIDTを備え、前記IDTの膜厚を減衰定数が実質的に0となるように設定したことを特徴とする表面波装置。

IPC (3)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145 ,  H03H 9/64

FI (3)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 Z ,  H03H 9/64 Z

F-Term (10)：

5J097AA28 ,  5J097BB02 ,  5J097BB03 ,  5J097CC01 ,  5J097DD01 ,  5J097DD28 ,  5J097FF03 ,  5J097GG02 ,  5J097GG07 ,  5J097KK05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 弾性表面波素子電極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-006311   Applicant：株式会社日立製作所
• 弾性表面波デバイスおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-252289   Applicant：株式会社東芝
• 弾性表面波装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-036001   Applicant：株式会社村田製作所