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J-GLOBAL ID：200903037262596652

マスクとワークとの位置合わせ装置およびそれを使用した位置合わせ方法

Inventor： 後藤 学 ,  田中 米太
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993195604
Publication number (International publication number)：1995029815
Application date： Jul. 14, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 マスク保持機構やアライメント用光学系の構成要素の保持機構が、装置全体の振動や熱膨張の影響を受けて位置ズレあるいは変形しても、その影響を受けることなく、正確にワークとマスクの位置合わせができる装置とそれを使用した方法を提供する。【構成】 マスクのマークに投影される第1の基準マークを有する第1の基準マスクと、ワークのマークに投影される第2の基準マークを有する第2の基準マスクとを近接配置した基準マスクセットを、位置合わせ用光学系の途中に配置する。

Claim (excerpt)：

マスクのマークに投影される第1の基準マークを有する第1の基準マスクと、ワークのマークに投影される第2の基準マークを有する第2の基準マスクとを近接配置した基準マスクセットを、位置合わせ用光学系の途中に配置してなることを特徴とするマスクとワークとの位置合わせ装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00