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J-GLOBAL ID：200903037279840239
積層型石英系光導波路の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993171292
Publication number (International publication number)：1995027940
Application date： Jul. 12, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 導波路光回路部品分野に用い、再現性が高く、経済的な積層型石英系光導波路の製造方法を提供する。【構成】 基板1上に下部クラッド層2として石英系ガラスを形成する工程と、上記下部クラッド2を凹型に加工した部分に該下部クラッドガラスより屈折率が高い第一コア層を堆積し、該凹部に光伝搬作用を有する第一層のコア導波路31を形成する工程と、該第一層のコア導波路31の上部に中間クラッド層4と凸型の第二層のコア導波路51を形成する工程と、上部クラッド層6としてコアガラスより屈折率の低い石英系ガラスを形成する工程とにより積層型石英系光導波路を得る。
Claim (excerpt)：
基板上に下部クラッド層として石英系ガラスを形成する工程と、上記下部クラッドを凹型に加工した部分に該下部クラッドガラスより屈折率が高い第一コア層を堆積し、該凹部に光伝搬作用を有する第一層のコア導波路を形成する工程と、該第一層のコア導波路の上部に中間クラッド層と凸型の第二層のコア導波路を、または凸型の第二層のコア導波路のみを形成する工程と、上部クラッド層としてコアガラスより屈折率の低い石英系ガラスを形成する工程とからなることを特徴とする積層型石英系光導波路の製造方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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