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J-GLOBAL ID：200903037405650599

SQUID顕微鏡の磁場印加装置

Inventor： 中山 哲 ,  小田原 成計 ,  永田 篤士 ,  池田 正徳
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 坂上 正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000189031
Publication number (International publication number)：2002006018
Application date： Jun. 23, 2000
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】 SQUIDセンサの特に磁場によって影響を受ける部分を、局部的に磁気シールドすることにより、磁場印加しながら測定できるようにすること。【解決手段】 SQUIDセンサの特に磁場によって影響を受ける部分を、局部的に磁気シールドすることにより、磁場印加しながら測定できるように構成した。

Claim (excerpt)：

計測対象物を設置する試料設置台と、走査ステージと、SQUIDセンサと、前記SQUIDセンサを冷却する冷却装置からなるSQUID顕微鏡において、前記計測対象物に磁場が加わるように設置された磁場印加コイルと、前記SQUIDセンサの一部を覆うように設置された磁気シールドを備えたことを特徴とするSQUID顕微鏡の磁場印加装置。

IPC (4)：

G01R 33/035 ZAA ,  G01N 27/72 ,  H01L 39/00 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA

FI (4)：

G01R 33/035 ZAA ,  G01N 27/72 ,  H01L 39/00 ZAA S ,  H01L 39/22 ZAA D

F-Term (16)：

2G017AC01 ,  2G017AD32 ,  2G053AA11 ,  2G053AA30 ,  2G053AB14 ,  2G053BB05 ,  2G053CA10 ,  2G053DA01 ,  2G053DB02 ,  2G053DB11 ,  2G053DB20 ,  4M113AC08 ,  4M113AC46 ,  4M113AD36 ,  4M113AD44 ,  4M113AD45