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J-GLOBAL ID:200903037410294776

レーザ変位計

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996042690
Publication number (International publication number):1997236419
Application date: Feb. 29, 1996
Publication date: Sep. 09, 1997
Summary:
【要約】【課題】 ラインセンサカメラの光学レンズの光学的歪を補正して、正確な計測が可能なレーザ変位計を提供することを目的とする。【解決手段】 被計測面に対して、複数のスリット光をそれぞれ斜めに照射する一方、前記被計測面の上方からラインセンサカメラ3により光学レンズ4を介して前記スリット光を計測して、三角測量の原理により前記被計測面の凹凸を求めるレーザ変位計において、予め前記光学レンズ4の光学的歪を除去するための補正値を求めて、前記ラインセンサカメラ3の各画素位置に対応して補正テーブル5に記憶し、該補正テーブル5の補正値に基づいて各画素位置毎に前記ラインセンサカメラ3からの出力を補正することを特徴とする。
Claim (excerpt):
被計測面に対して、複数のスリット光をそれぞれ斜めに照射する一方、前記被計測面の上方からラインセンサカメラにより光学レンズを介して前記スリット光を計測して、三角測量の原理により前記被計測面の凹凸を求めるレーザ変位計において、予め前記光学レンズの光学的歪を除去するための補正値を求めて、前記ラインセンサカメラの各画素位置に対応して補正テーブルに記憶し、該補正テーブルの補正値に基づいて各画素位置毎に前記ラインセンサカメラからの出力を補正することを特徴とするレーザ変位計。
IPC (3):
G01B 11/30 ,  G01B 21/00 ,  G01C 3/06
FI (3):
G01B 11/30 W ,  G01B 21/00 T ,  G01C 3/06 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭60-210706
  • 特開昭62-003609

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