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J-GLOBAL ID：200903037414671809

ポジ型感放射線性樹脂組成物

Inventor： 亀山 泰弘
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998317552
Publication number (International publication number)：2000147770
Application date： Nov. 09, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 感度、解像度に優れ、環境耐性の良好なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)フェノール性水酸基含有アルカリ可溶性樹脂または該水酸基の少なくとも一部が酸分解性保護基で保護された樹脂、(B)酸の作用により分解してアルカリ可溶性を付与する基を生成しうる部分構造を有する化合物及び(C)活性光線または放射線により分解して酸を発生する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物に於て、成分(B)が、アルカリ可溶性を付与する基を生成しうる部分構造として置換されていてもよい炭素数7以上のアルキルカーボネート基を有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)フェノール性水酸基含有アルカリ可溶性樹脂または該水酸基の少なくとも一部が酸分解性保護基で保護された樹脂、(B)酸の作用により分解してアルカリ可溶性を付与する基を生成しうる部分構造を有する化合物及び(C)活性光線または放射線により分解して酸を発生する化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物に於て、成分(B)が、アルカリ可溶性を付与する基を生成しうる部分構造として置換されていてもよい炭素数7以上のアルキルカーボネート基を有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (16)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB17 ,  2H025CB28 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20