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J-GLOBAL ID：200903037429506707

表面うねり検査装置

Inventor： 亀井 光仁 ,  橘 幹夫
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991175140
Publication number (International publication number)：1993018905
Application date： Jul. 16, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 シート材等に発生する、緩やかなプロフィール変化の微小うねりを検出できる表面うねり検査装置を得る。【構成】 被検査試料4を間に介してパターン化光源1とピンホール7を持つ撮像レンズ5を対向させ、被検査試料4を介してパターン化光源1をピンホール撮像することにより、被検査試料4上を通過する光線を光学上の主光線として特定し、試料表面上の局部的な表面うねり欠陥の強調及び欠陥部位の特定をする。

Claim (excerpt)：

被検査試料を介して一方と他方に対向して配置されるパターン化光源とピンホール、及びこのピンホールを経由して形成された上記パターン化光源像を検出すべく配置されるカメラを備えた表面うねり検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  H04N 7/18