Pat

J-GLOBAL ID：200903037481587472

カラーフィルターの欠陥検査装置

Inventor： ▲吉▼田 俊之
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 藤本 博光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995024026
Publication number (International publication number)：1996219943
Application date： Feb. 13, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 カラーフィルターの欠陥の面積を正確に測定し、良否判定を行うことができるカラーフィルタの欠陥検査装置を提供する。【構成】 カラーフィルターの欠陥検出装置は、カラーフィルター1に光を照射する照明手段4と、フィルター1からの光を検出する検出手段5と、検出された輝度値の入力波形から該入力波形を所定のピッチ分移動させた参照波形を減算処理することにより得られた差分波形から欠陥面積を測定する処理手段7と、測定欠陥面積を既知の欠陥面積を有する比較用カラーフィルターに対して測定された欠陥面積と比較することにより測定欠陥面積を補正する補正手段8とを備える。

Claim (excerpt)：

カラーフィルターに照明光を照射する照明手段と、カラーフィルターからの光を輝度値として検出する検出手段と、該検出手段により検出された輝度値の入力波形から該入力波形を所定のピッチ分移動させた参照波形を減算処理することにより得られた差分波形から欠陥面積を測定する処理手段と、さらに該処理手段により測定された欠陥面積を既知の欠陥面積を有する比較用カラーフィルターに対して測定された欠陥面積と比較することにより測定されたカラーフィルターの欠陥面積を補正する補正手段とを備えたことを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査装置。

IPC (4)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G02B 5/20 101

FI (5)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/88 D ,  G01N 21/88 J ,  G02B 5/20 101 ,  G06F 15/62 400