キャリヤ検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991352555
Publication number (International publication number)：1995005079
Application date： Nov. 11, 1991
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】ロボットハンドでのウエハの取り出しまたは収納を前提として、キャリヤに要求される寸法精度を簡便に測定し、明確な基準値を設定して良否を検定する検査装置を提供することを目的とする。【構成】キャリヤに収納された複数枚の板状物について、基準平面からの板状物の表面、裏面の少なくとも一方までの高さを測定することによって、キャリヤの良否を検定するものである。

Claim (excerpt)：

キャリヤに収納された複数枚の板状物について、基準平面からの前記板状物の表面およびまた裏面までの高さを測定することにより、前記キャリヤの良否を検定するキャリヤ検査装置。

IPC (4)：

G01M 19/00 , G01B 11/00 , G01B 11/02 , H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平2-284014
特開平2-284014
特開平2-198152

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