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J-GLOBAL ID：200903037503207474
速度測定装置およびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 純之助 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997298619
Publication number (International publication number)：1999133042
Application date： Oct. 30, 1997
Publication date： May. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】小型で慣性が小さく、振動の影響も受けにくく、個別部品の組み立て、調整の工程を削除し、量産を可能にして、また、低コスト化、高信頼性化を実現した速度測定装置およびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】発光素子1と、受光素子2111と、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層の三層からなる膜状の光導波路31、32、33と、外部の物体7へ出射する光の広がり角を定める光導波路凸状部311、321と、物体7に向かって光を出射し、その散乱光、干渉光を受光素子2111に入射させる集光手段41、42、43とを半導体基板5555上に形成する。
Claim (excerpt)：
発光素子と、少なくとも一つ以上の受光素子と、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層の三層からなる膜状の光導波路と、上記発光素子から上記光導波路を介して導かれた光を外部の対象物体に向かって出射し、上記対象物体からの散乱光、干渉光を上記受光素子に入射させる集光手段とを半導体基板上に形成することを特徴とする速度測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
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