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J-GLOBAL ID：200903037508792430
外観検査装置の感度補正方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994088758
Publication number (International publication number)：1995294452
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】 被検査対象物の表面状態が変動しても、さらには、光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検出の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を提供する。【構成】 光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光をCCDセンサーに取り込むことにより対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査装置において、CCDセンサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた対象物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出し、この補正信号により検出感度の補正を行う。
Claim (excerpt)：
光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光をCCDセンサーに取り込むことにより対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査装置において、CCDセンサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた対象物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出し、この補正信号により検出感度の補正を行うことを特徴とする外観検査装置の感度補正方法。
IPC (2)：
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