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J-GLOBAL ID：200903037519705482
多成分系固体材料のエッチング方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
久保田 千賀志 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995036302
Publication number (International publication number)：1996225968
Application date： Feb. 01, 1995
Publication date： Sep. 03, 1996
Summary：
【要約】【目的】 エッチング速度が速く、かつ滑らかなエッチング面を得ることができるメルトバック方式によるエッチング方法において、溶媒の早期飽和と言う問題を解決し、高い作業性を有して、かつ適用対象を広範囲にして、多成分系の固体材料をエッチングすることができる方法を提供することを目的とする。【構成】 多成分系固体材料の表面の所望箇所に、該材料に対する溶媒を、該溶媒の表面の一部を接触させて置き、該溶媒の他の表面の少なくとも一部を、該溶媒に溶解している前記材料の構成成分の少なくとも1つの易揮発性成分を容易に揮散させる雰囲気に接触させて、エッチングを行う。
Claim (excerpt)：
多成分系固体材料の表面の所望箇所に、該材料に対する溶媒を、該溶媒の表面の一部を接触させて置き、該溶媒の他の表面の少なくとも一部を、該溶媒に溶解している前記材料の構成成分の少なくとも1つの易揮発性成分を容易に揮散させる雰囲気に暴露させることを特徴とする多成分系固体材料のエッチング方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C23F 4/00 Z
, C04B 41/91 B
