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J-GLOBAL ID：200903037531113434

ラップ加工方法

Inventor： 国吉 真暁
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995340643
Publication number (International publication number)：1997174428
Application date： Dec. 27, 1995
Publication date： Jul. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】加工時間を長くすることなく、設備を減らし、かつ、段取り時間を短縮することができるラップ加工方法を提供すること。【解決手段】フェライト板Fと上定盤34及び下定盤32との間に荒加工用スラリーを供給する荒加工用スラリー供給工程と、上定盤34及び下定盤32をフェライト板Fに対して相対運動させるラップ定盤第1駆動工程と、荒加工用砥粒のうち遊離したものを除去する遊離砥粒除去工程と、中仕上げ加工用スラリーを供給する中仕上げ加工用スラリー供給工程と、上定盤34及び下定盤32を相対運動させるラップ定盤第2駆動工程と、仕上げ加工用スラリーを供給する仕上げ加工用スラリー供給工程と、上定盤34及び下定盤32を相対運動させるラップ定盤第3駆動工程とを備えるようにした。

Claim (excerpt)：

少なくとも砥粒とラップ液とからなるスラリーと、被加工物を挟持する上記砥粒よりも柔らかい材質からなるラップ定盤とを用いて上記被加工物をラップ加工するラップ加工方法において、上記被加工物と上記ラップ定盤との間に所定粒径の砥粒を含有する荒加工用スラリーを供給する荒加工用スラリー供給工程と、上記ラップ定盤を上記被加工物に対して相対運動させるラップ定盤第1駆動工程と、上記ラップ定盤上の上記荒加工用砥粒のうち遊離したものを除去する遊離砥粒除去工程と、上記被加工物と上記ラップ定盤との間に上記所定粒径の略半分の粒径を有する中仕上げ加工用砥粒を含有する中仕上げ加工用スラリーを供給する中仕上げ加工用スラリー供給工程と、上記ラップ定盤を上記被加工物に対して相対運動させるラップ定盤第2駆動工程と、上記被加工物と上記ラップ定盤との間に上記所定粒径の略1/4の粒径を有する仕上げ加工用砥粒を含有する仕上げ加工用スラリーを供給する仕上げ加工用スラリー供給工程と、上記ラップ定盤を上記被加工物に対して相対運動させるラップ定盤第3駆動工程とを備えていることを特徴とするラップ加工方法。