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J-GLOBAL ID：200903037548674030

感光性組成物及び回路パタ-ン形成方法

Inventor： 吉本 洋 ,  石井 渡
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社 ,  富士フイルムオーリン株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999008108
Publication number (International publication number)：2000206681
Application date： Jan. 14, 1999
Publication date： Jul. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 解像力、露光後ベーク温度による感度依存性、現像性、密着性に優れ、微細加工用フォトレジストとして好適に用いられる感光性組成物、及びそれを利用した回路パターン形成方法を提供する。【解決手段】 (a)結着樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、及び(c)(a)の総重量に対して0.001〜10重量%のモルホリン誘導体を含有する感光性組成物、及びそれを用いた回路パターン形成方法。

Claim (excerpt)：

(a)結着樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する化合物、及び(c)(a)の総重量に対して0.001〜10重量%のモルホリン誘導体を含有する事を特徴とする感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (13)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB16 ,  2H025CC06 ,  2H025FA12 ,  2H025FA40 ,  2H025FA41