Pat

J-GLOBAL ID：200903037564220236

鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物強誘電体薄膜製造用スパッタリングターゲット材およびその製法

Inventor： 大内 幸弘 ,  高橋 昭雄 ,  納田 文男 ,  杉原 忠 ,  武下 拓夫
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 広瀬 章一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992148857
Publication number (International publication number)：1993320894
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 優れた鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物強誘電体薄膜製造用スパッタリングターゲット材およびその製法の提供【構成】 原料化合物のアルカリ金属不純物濃度を1ppm以下に減少させる

Claim (excerpt)：

そのアルカリ金属含有量の合計が2ppm以下のPb1-xLax(ZryTi1-y)1-x/4O3(式中x、yはOまたは1より小さい小数)で表わされる鉛含有ペロブスカイト構造複合酸化物の、構成粒子が平均粒径2μm以下の単位粒子からなる焼結体である高強度かつ高純度鉛含有ペロブスカイト強誘電体薄膜製造用スパッタリングターゲット材。

IPC (4)：

C23C 14/34 ,  H01B 3/12 301 ,  H01G 4/06 102 ,  H01G 7/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-053119
  
• 特開昭62-297463