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J-GLOBAL ID：200903037570094080
研磨クロスの表面評価方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
舘野 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992137670
Publication number (International publication number)：1993306924
Application date： Apr. 30, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 研磨クロスの表面粗さを円滑かつ適確に評価することができる方法を提供する。【構成】 研磨クロスの表面にレプリカフィルムを重ね、押圧して、研磨クロス表面の凹凸をレプリカフィルムに転写し、このレプリカフィルムの凹凸を測定することにより研磨クロス表面の評価を行う。
Claim (excerpt)：
研磨クロスの表面にレプリカフィルムを重ね、押圧して、研磨クロス表面の凹凸をレプリカフィルムに転写し、この転写レプリカフィルムの凹凸を測定することを特徴とする研磨クロスの表面評価方法。
Patent cited by the Patent：
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