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J-GLOBAL ID：200903037583234620

一次純水からの超々純水の製造方法及び装置

Inventor： 永井 弘 ,  河津 秀雄
Applicant, Patent owner： 荏原インフィルコ株式会社 ,  株式会社荏原総合研究所 ,  株式会社荏原製作所
Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992224544
Publication number (International publication number)：1994055171
Application date： Aug. 03, 1992
Publication date： Mar. 01, 1994
Summary：

【要約】【目的】 装置を小型化してユースポイント近くで超々純水を製造できる経済的な方法を提供する。【構成】 一次純水6を受け入れ、ユースポイント5直前で下記工程(a)〜(g)で処理して超々純水を製造する。(a)一次純水6を中間貯槽2に受け入れ、ユースポイント直前まで輸送7する工程、(b)輸送された一次純水を電気再生型イオン交換装置3で脱塩処理する工程、(c)(b)の処理水の一部をパラジウムを担持した気体透過膜の接液側に通水し、接ガス側に水素を供給する工程、(d)(b)の処理水の残部と(c)の処理水を併せて、紫外線を照射する工程、(e)(d)の処理水を水素脱気膜を通して処理する工程、(f)(e)の処理水をイオン交換樹脂により処理する工程、(g)(f)の処理水を限外ろ過する工程。

Claim (excerpt)：

一次純水を受け入れ、ユースポイント直前で超々純水まで精製する超々純水の製造方法において、(a)一次純水を中間貯槽に受け入れ、ユースポイント直前まで輸送する工程、(b)輸送された一次純水を電気再生型イオン交換装置で脱塩処理する工程、(c)(b)の処理水の一部を気体透過膜の接液側に通水し、接ガス側に水素を供給する工程、(d)(b)の処理水の残部と(c)の処理水を併せて、紫外線を照射する工程、(e)(d)の処理水を水素脱気膜を通して処理する工程、(f)(e)の処理水をイオン交換樹脂により処理する工程、(g)(f)の処理水を限外ろ過する工程、の各工程を順次通すことにより、一次純水を精製して超々純水とすることを特徴とする超々純水の製造方法。

IPC (3)：

C02F 1/42 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/44