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J-GLOBAL ID：200903037606986510
放電プラズマ処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001214078
Publication number (International publication number)：2003024771
Application date： Jul. 13, 2001
Publication date： Jan. 28, 2003
Summary：
【要約】【課題】 プラズマ発生時の大きなインピーダンス変化にも対応できる緩衝方法によりプラズマを速やかに発生させ、安定に維持する方法の提供。【解決手段】 対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を被覆し、当該電極間に電界を印加することにより放電プラズマを発生させる放電プラズマ処理方法において、電極間に誘電体シートを挿入した状態でプラズマを発生させ、プラズマが発生した後に該誘電体シートを取り去りプラズマ処理を行うことを特徴とする放電プラズマ処理方法。
Claim (excerpt)：
対向する電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を被覆し、当該電極間に電界を印加することにより放電プラズマを発生させる放電プラズマ処理方法において、電極間に誘電体シートを挿入した状態でプラズマを発生させ、プラズマが発生した後に該誘電体シートを取り去りプラズマ処理を行うことを特徴とする放電プラズマ処理方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B01J 19/08 E
, H05H 1/46 M
4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BC04
, 4G075BC06
, 4G075CA47
, 4G075CA62
, 4G075DA18
, 4G075EC21
, 4G075FC15
