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J-GLOBAL ID：200903037613440352

画像処理によるレーザスポットの中心算出方法

Inventor： 太刀掛 雄二
Applicant, Patent owner： 株式会社日平トヤマ
Agent (1)： 中川 國男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991351386
Publication number (International publication number)：1993167129
Application date： Dec. 13, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 中心点算出への寄与度の低い部分を利用しないで、従来技術の欠点を除去し、また簡単な計算によって中心点を正確に求められるようにすることである。【構成】 レーザスポットの強度特性波形の立ち上がりおよび立ち下がり部分に着目し、その部分のみをレーザスポットの中心の算出に用いることによって、波形のピーク部分の誤差の影響を少なくし、また立ち上がりおよび立ち下がり部分の近隣位置のデータ間で信号レベルの差または微分の絶対値を用いることにより測定精度を向上させている。

Claim (excerpt)：

ガウス分布ないしこれに近似の強度特性のレーザスポットを各位置の強度に比例する信号レベルのデータに変換し、これらのデータから近隣位置のデータ間で信号レベル差の絶対値を求め、所定値以上の絶対値に相当する位置のデータ群の重心を計算し、この重心の位置をもってレーザスポットの中心とすることを特徴とする画像処理によるレーザスポットの中心算出方法。

IPC (5)：

H01S 3/00 ,  G01J 1/02 ,  G06F 15/62 380 ,  G06F 15/70 360 ,  H01S 3/10