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J-GLOBAL ID：200903037618467950
マイクロ波プラズマ発生器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993293363
Publication number (International publication number)：1994236800
Application date： Nov. 24, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】【目的】 より効率的にプラズマを発生するマイクロ波プラズマ発生器を提供する。【構成】 一対の相対する電界強化電極をチャンバ内に持ち、その一方の電極は軸状の穴を持ち、電極間の領域でプラズマ状態に活性化されるガスをこの穴を通じてチャンバから抽出することができる。
Claim (excerpt)：
電磁スペクトルのマイクロ波領域において電磁放射を送るようにされた導波管装置に接続されるようにされたチャンバと、プラズマ状態に活性化されるプロセスガスをチャンバに入れることを許可する入口ポートと、チャンバ中のマイクロ波放射の伝播方向に対して直角をなす状態とされた少なくとも一対の電界強化電極と、を備え、前記一対の電極の中の少なくとも1つの電極は、活性化されたプロセスガスが電界強化電極間のチャンバの領域から抽出され得るように自身の内部に形成された通路を備えることを特徴とするマイクロ波プラズマ発生器。
IPC (2)：
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