光ディスクの保護膜塗布用スピンコータおよび光ディスクの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金田暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001323432
Publication number (International publication number)：2003126755
Application date： Oct. 22, 2001
Publication date： May. 07, 2003
Summary：

【要約】【課題】従来のスピンコート方式による塗布膜の形成における問題点を解決した、光ディスクの保護膜塗布用スピンコータを提供する。また該スピンコータを用いて保護膜を形成する工程を含むことを特徴とする光ディスクの製造方法を提供する。【解決手段】光ディスクの基板上に形成した記録膜上にスピンコート方式により保護膜を塗布する光ディスクの保護膜塗布用スピンコータにおいて、基板の外径と同等の外形を有する基板保持部材と、基板の外径よりも0.2mm以上大きな内径と基板の外径よりも10mm以上大きな外径を有する環状のミスト飛散防止部材とを含み、ミスト飛散防止部材を、その表面が基板保持部材に基板を保持した時の基板表面高さよりも、0.1mm以上低く、基板保持部材の表面高さよりも0.1mm以上高く、かつ、基板表面と平行となるように設けたことを特徴とする光ディスクの保護膜塗布用スピンコータ。

Claim (excerpt)：

光ディスク基板上に形成した記録膜の上にスピンコート方式により保護膜を塗布する光ディスクの保護膜塗布用スピンコータにおいて、基板の外径と同等の外形を有する基板保持部材と、基板の外径よりも0.2mm以上大きな内径と基板の外径よりも10mm以上大きな外径を有する環状のミスト飛散防止部材とを含み、ミスト飛散防止部材を、その表面が基板保持部材に基板を保持した時の基板表面高さよりも、0.1mm以上低く、基板保持部材の表面高さよりも0.1mm以上高く、かつ、基板表面と平行となるように設けたことを特徴とする光ディスクの保護膜塗布用スピンコータ。

IPC (5)：

B05C 11/08 , B05C 11/00 , B05D 1/40 , B05D 7/00 , G11B 7/26 531

FI (5)：

B05C 11/08 , B05C 11/00 , B05D 1/40 A , B05D 7/00 H , G11B 7/26 531

F-Term (24)：

4D075AC79 , 4D075AC86 , 4D075AC93 , 4D075DA08 , 4D075DC21 , 4D075DC27 , 4D075EA05 , 4F042AA08 , 4F042AB00 , 4F042BA08 , 4F042CC01 , 4F042CC09 , 4F042CC28 , 4F042DF03 , 4F042DF09 , 4F042DF28 , 4F042DF32 , 4F042EB05 , 4F042EB09 , 4F042EB24 , 4F042EB28 , 5D121AA04 , 5D121EE22 , 5D121EE24

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