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J-GLOBAL ID：200903037621733032

高速走査探針顕微鏡用高周波振動探針

Inventor： ジェ ウォン ホー ,  セオ ヨン ホー
Applicant, Patent owner： ジェ ウォン ホー
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001155436
Publication number (International publication number)：2002228573
Application date： May. 24, 2001
Publication date： Aug. 14, 2002
Summary：

【要約】【課題】 振動走査探針の走査速度を改善して、迅速な試料の観測を可能とし、特に、移動する物体の観測も行い得る高速走査探針顕微鏡用高周波振動探針を提供することを目的とする。【解決手段】 固有振動数範囲が1MHz〜100MHz、厚さが0.01mm〜2.0mmである高周波水晶共振子20と、前記水晶共振子に装着された電極21と、前記水晶共振子20に装着された高周波振動探針22と、を備えて構成される。

Claim (excerpt)：

固有振動数が1MHz〜100MHz、0.01mm〜2.0mmの範囲の厚さを有する高周波水晶共振子と、前記水晶共振子に接着された電極と、前記水晶共振子に装着された走査探針と、を備えて構成されることを特徴とする高速走査探針顕微鏡(SPM)用高周波振動探針。

IPC (5)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/14 ,  G12B 21/06 ,  G12B 21/08

FI (5)：

G01N 13/16 C ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/14 B ,  G12B 1/00 601 C ,  G12B 1/00 601 D

F-Term (12)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG19 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069RR03