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J-GLOBAL ID：200903037624349160
回折格子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
横沢 志郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996111426
Publication number (International publication number)：1997297207
Application date： May. 02, 1996
Publication date： Nov. 18, 1997
Summary：
【要約】【課題】 高湿度雰囲気中で長時間使用しても、回折特性を良好に保つことのできる回折格子を実現すること。【解決手段】 回折格子1は、透明基板2を有し、この表面201に周期的に光学膜3が形成されている。透明基板2の表面201には、光学膜3と透明基板2の表面が露出した露出部分202とが交互に形成されている。それらの透明基板の露出部分202および光学膜3の表面には防湿用保護膜4が形成されている。露出部分202および光学膜の表面203は防湿用保護膜4によって覆われているので、これらの部分での吸湿量を抑制して、その回折特性の劣化を防止できる。
Claim (excerpt)：
透明基板の表面に、光学膜および前記透明基板の露出部分が交互に形成された回折格子において、前記光学膜および前記透明基板の露出部分を覆う防湿用保護膜を備えていることを特徴とする回折格子。
IPC (2)：
FI (2)：
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